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  1. 000.資料タイプ別
  2. 030.紀要・学内刊行物
  3. 032.研究報告
  4. Vol.3(1981)

C3H8-Ar混合ガス中でスパッタしたa-SixC1-x:H薄膜

http://hdl.handle.net/10649/300
http://hdl.handle.net/10649/300
c4b211bb-3a8c-46a7-bb43-af1535790fce
名前 / ファイル ライセンス アクション
K3_7.pdf K3_7.pdf (533.7 kB)
アイテムタイプ 紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1)
公開日 2011-02-15
タイトル
タイトル C3H8-Ar混合ガス中でスパッタしたa-SixC1-x:H薄膜
言語
言語 jpn
資源タイプ
資源タイプ識別子 http://purl.org/coar/resource_type/c_6501
資源タイプ departmental bulletin paper
著者 大木, 茂久

× 大木, 茂久

WEKO 877

大木, 茂久

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飯田, 誠之

× 飯田, 誠之

WEKO 878

飯田, 誠之

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著者別名
識別子Scheme WEKO
識別子 879
姓名 オオキ, シゲヒサ
著者別名
識別子Scheme WEKO
識別子 880
姓名 イイダ, セイシ
著者別名
識別子Scheme WEKO
識別子 881
姓名 Ooki, Shigehisa
著者別名
識別子Scheme WEKO
識別子 882
姓名 Iida, Seishi
著者所属
値 長岡技術科学大学
著者所属
値 長岡技術科学大学
抄録
内容記述タイプ Abstract
内容記述 Hydrogenated amorphous silicon-carbon alloy films have been prepared by reactive sputtering of a silicon target in a gaseous mixture of C\_3_H\_8_ and Ar. Optical gap energies determined from absorption spectra in the visible region show systematic variation corresponding to carbon content estimated from intensity of the infrared absorption of Si-C bond. The optical gap has a maximum of 2. 32 eV at composition near Si\_0.2_ C\_0.8_.White-yellow photoluminescence has been observed at and below room temperatures for carbon-rich films. The luminescence exhibits a broad spectral distribution (half width with \sim\0.85 eV) having a peak energy around 2.0 eV. The emission increases linearly with excitation over a wide range of excitation densities from 10\^-1^W/cm\^2^ to 10\^5^W/cm\^2^. Brief discussion is given for the origin of this emission.
書誌情報 長岡技術科学大学研究報告

巻 3, p. 43-49, 発行日 1982-02-27
ISSN
収録物識別子タイプ ISSN
収録物識別子 0388-5631
書誌レコードID
収録物識別子タイプ NCID
収録物識別子 AN00177120
著者版フラグ
出版タイプ VoR
出版タイプResource http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85
その他のタイトル
その他のタイトル Optical properties of a-SixC1-x:H films sputtered in an atmosphere of C3H8-Ar
出版者
出版者 長岡技術科学大学
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Ver.1 2023-05-15 11:29:53.780704
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