WEKO3
アイテム
C3H8-Ar混合ガス中でスパッタしたa-SixC1-x:H薄膜
http://hdl.handle.net/10649/300
http://hdl.handle.net/10649/300c4b211bb-3a8c-46a7-bb43-af1535790fce
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
|---|---|---|
|
|
|
| アイテムタイプ | 紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 2011-02-15 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | C3H8-Ar混合ガス中でスパッタしたa-SixC1-x:H薄膜 | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||
| 資源タイプ | departmental bulletin paper | |||||
| 著者 |
大木, 茂久
× 大木, 茂久× 飯田, 誠之 |
|||||
| 著者別名 | ||||||
| 識別子Scheme | WEKO | |||||
| 識別子 | 879 | |||||
| 姓名 | オオキ, シゲヒサ | |||||
| 著者別名 | ||||||
| 識別子Scheme | WEKO | |||||
| 識別子 | 880 | |||||
| 姓名 | イイダ, セイシ | |||||
| 著者別名 | ||||||
| 識別子Scheme | WEKO | |||||
| 識別子 | 881 | |||||
| 姓名 | Ooki, Shigehisa | |||||
| 著者別名 | ||||||
| 識別子Scheme | WEKO | |||||
| 識別子 | 882 | |||||
| 姓名 | Iida, Seishi | |||||
| 著者所属 | ||||||
| 値 | 長岡技術科学大学 | |||||
| 著者所属 | ||||||
| 値 | 長岡技術科学大学 | |||||
| 抄録 | ||||||
| 内容記述タイプ | Abstract | |||||
| 内容記述 | Hydrogenated amorphous silicon-carbon alloy films have been prepared by reactive sputtering of a silicon target in a gaseous mixture of C\_3_H\_8_ and Ar. Optical gap energies determined from absorption spectra in the visible region show systematic variation corresponding to carbon content estimated from intensity of the infrared absorption of Si-C bond. The optical gap has a maximum of 2. 32 eV at composition near Si\_0.2_ C\_0.8_.White-yellow photoluminescence has been observed at and below room temperatures for carbon-rich films. The luminescence exhibits a broad spectral distribution (half width with \sim\0.85 eV) having a peak energy around 2.0 eV. The emission increases linearly with excitation over a wide range of excitation densities from 10\^-1^W/cm\^2^ to 10\^5^W/cm\^2^. Brief discussion is given for the origin of this emission. | |||||
| 書誌情報 |
長岡技術科学大学研究報告 巻 3, p. 43-49, 発行日 1982-02-27 |
|||||
| ISSN | ||||||
| 収録物識別子タイプ | ISSN | |||||
| 収録物識別子 | 0388-5631 | |||||
| 書誌レコードID | ||||||
| 収録物識別子タイプ | NCID | |||||
| 収録物識別子 | AN00177120 | |||||
| 著者版フラグ | ||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||
| その他のタイトル | ||||||
| その他のタイトル | Optical properties of a-SixC1-x:H films sputtered in an atmosphere of C3H8-Ar | |||||
| 出版者 | ||||||
| 出版者 | 長岡技術科学大学 | |||||