WEKO3
アイテム
RFスパッタa-Si膜の光学的評価
http://hdl.handle.net/10649/305
http://hdl.handle.net/10649/3053147a275-f929-4a90-b02f-e24126f680d5
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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K3_9.pdf (443.8 kB)
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| アイテムタイプ | 紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 2011-02-15 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | RFスパッタa-Si膜の光学的評価 | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||
| 資源タイプ | departmental bulletin paper | |||||
| 著者 |
西野, 勇
× 西野, 勇× 安井, 寛治× 飯田, 誠之× 一ノ瀬, 幸雄 |
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| 著者別名 | ||||||
| 識別子Scheme | WEKO | |||||
| 識別子 | 902 | |||||
| 姓名 | ニシノ, イサム | |||||
| 著者別名 | ||||||
| 識別子Scheme | WEKO | |||||
| 識別子 | 903 | |||||
| 姓名 | ヤスイ, カンジ | |||||
| 著者別名 | ||||||
| 識別子Scheme | WEKO | |||||
| 識別子 | 904 | |||||
| 姓名 | イイダ, セイシ | |||||
| 著者別名 | ||||||
| 識別子Scheme | WEKO | |||||
| 識別子 | 905 | |||||
| 姓名 | イチノセ, ユキオ | |||||
| 著者別名 | ||||||
| 識別子Scheme | WEKO | |||||
| 識別子 | 906 | |||||
| 姓名 | Nishino, Isamu | |||||
| 著者別名 | ||||||
| 識別子Scheme | WEKO | |||||
| 識別子 | 907 | |||||
| 姓名 | Yasui, Kanji | |||||
| 著者別名 | ||||||
| 識別子Scheme | WEKO | |||||
| 識別子 | 908 | |||||
| 姓名 | Iida, Seishi | |||||
| 著者別名 | ||||||
| 識別子Scheme | WEKO | |||||
| 識別子 | 909 | |||||
| 姓名 | Ichinose, Yukio | |||||
| 著者所属 | ||||||
| 値 | 長岡技術科学大学 | |||||
| 著者所属 | ||||||
| 値 | 長岡技術科学大学 | |||||
| 著者所属 | ||||||
| 値 | 長岡技術科学大学 | |||||
| 著者所属 | ||||||
| 値 | 長岡技術科学大学 | |||||
| 抄録 | ||||||
| 内容記述タイプ | Abstract | |||||
| 内容記述 | This paper reports effects of gas impurity atoms on the visible and infrared absorption of rf sputtered amorphous Si films.The results obtained are summarized in three points as follows.(1) absorption coefficient for the visible light in amorphous Si films is about one order of magnitude higher than in crystalline Si.(2) optical band gap of amorphous Si films shifts to higher energies with increasing impurity contents of H, O, and N atoms.(3) infrared absorption at 2250cm\^-1^ is presumed to be related to N and H atoms. | |||||
| 書誌情報 |
長岡技術科学大学研究報告 巻 3, p. 57-63, 発行日 1982-02-27 |
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| ISSN | ||||||
| 収録物識別子タイプ | ISSN | |||||
| 収録物識別子 | 0388-5631 | |||||
| 書誌レコードID | ||||||
| 収録物識別子タイプ | NCID | |||||
| 収録物識別子 | AN00177120 | |||||
| 著者版フラグ | ||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||
| その他のタイトル | ||||||
| その他のタイトル | Optical characterization of RF sputtered amorphous Si films | |||||
| 出版者 | ||||||
| 出版者 | 長岡技術科学大学 | |||||
