WEKO3
アイテム
反応性rfスパッタ法によるa-GaNxOy膜の光学的・電気的特性
http://hdl.handle.net/10649/312
http://hdl.handle.net/10649/312a750bc7a-8d20-4c38-a9d3-1f2d9a113e4f
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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K4_4.pdf (461.5 kB)
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| アイテムタイプ | 紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) | |||||
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| 公開日 | 2011-02-15 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | 反応性rfスパッタ法によるa-GaNxOy膜の光学的・電気的特性 | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||
| 資源タイプ | departmental bulletin paper | |||||
| 著者 |
太田, 範雄
× 太田, 範雄× 飯田, 誠之 |
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| 著者別名 | ||||||
| 識別子Scheme | WEKO | |||||
| 識別子 | 945 | |||||
| 姓名 | オオタ, ノリオ | |||||
| 著者別名 | ||||||
| 識別子Scheme | WEKO | |||||
| 識別子 | 946 | |||||
| 姓名 | イイダ, セイシ | |||||
| 著者別名 | ||||||
| 識別子Scheme | WEKO | |||||
| 識別子 | 947 | |||||
| 姓名 | Oota, Norio | |||||
| 著者別名 | ||||||
| 識別子Scheme | WEKO | |||||
| 識別子 | 948 | |||||
| 姓名 | Iida, Seishi | |||||
| 著者所属 | ||||||
| 値 | 長岡技術科学大学 | |||||
| 著者所属 | ||||||
| 値 | 長岡技術科学大学 | |||||
| 抄録 | ||||||
| 内容記述タイプ | Abstract | |||||
| 内容記述 | The films which were prepared at room temperature by reactive rf sputtering of the target of gallium mental in an atmosphere of N2+Ar were found to show large variation in the absorption in the visible region of the spectrum. The optical gap energies of the films vary from 0.9eVto more than 4.0eV corresponding to the preparation condition of nitrogen pressure. Transmission electron diffraction study showed that the films were amorphous alloys composed og gallium, nitrogen and oxygen. Room temperature conductivities change from 10^-6 to 10^-10 ohm^-1 cm^-1. The temperature dependence of conductivities give activation energies of 0.5-0.8eV. Yellow photoluminescence was observed in films having wide optical gap energies. At present, these variations are believed to be caused by the changing in atomic ratio of gallium, nitrogen and oxygen the films, but further study is necessary to clarify the origin of these variations. | |||||
| 書誌情報 |
長岡技術科学大学研究報告 巻 4, p. 19-25, 発行日 1983-01-31 |
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| ISSN | ||||||
| 収録物識別子タイプ | ISSN | |||||
| 収録物識別子 | 0388-5631 | |||||
| 書誌レコードID | ||||||
| 収録物識別子タイプ | NCID | |||||
| 収録物識別子 | AN00177120 | |||||
| 著者版フラグ | ||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||
| その他のタイトル | ||||||
| その他のタイトル | Optical and electrical properties of a-GaNxOy films prepared by reactive rf sputtering | |||||
| 出版者 | ||||||
| 出版者 | 長岡技術科学大学 | |||||
