WEKO3
アイテム
Fast deposition of ZnS thin films by intense pulsed ion beam
http://hdl.handle.net/10649/410
http://hdl.handle.net/10649/4105f2202f2-cef1-4e34-a974-c92a8265ec0a
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
|---|---|---|
K10_7.pdf (554.1 kB)
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| アイテムタイプ | 紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 2011-02-15 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | Fast deposition of ZnS thin films by intense pulsed ion beam | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | eng | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | Thin-film preparation | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | high-speed deposition | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | zinc surfide | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | high-density | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | high-temperature plasma | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | intense pulsed ion beam | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||
| 資源タイプ | departmental bulletin paper | |||||
| 著者 |
霜鳥, 裕
× 霜鳥, 裕× Yokoyama, Meisou× Harada, Shigetoshi× 升方, 勝己× 八井, 浄 |
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| 著者別名 | ||||||
| 識別子Scheme | WEKO | |||||
| 識別子 | 1662 | |||||
| 姓名 | シモトリ, ユタカ | |||||
| 著者別名 | ||||||
| 識別子Scheme | WEKO | |||||
| 識別子 | 1663 | |||||
| 姓名 | ヨコヤマ, メイソウ | |||||
| 著者別名 | ||||||
| 識別子Scheme | WEKO | |||||
| 識別子 | 1664 | |||||
| 姓名 | ハラダ, シゲトシ | |||||
| 著者別名 | ||||||
| 識別子Scheme | WEKO | |||||
| 識別子 | 1665 | |||||
| 姓名 | マスガタ, カツミ | |||||
| 著者別名 | ||||||
| 識別子Scheme | WEKO | |||||
| 識別子 | 1666 | |||||
| 姓名 | ヤツイ, キヨシ | |||||
| 著者別名 | ||||||
| 識別子Scheme | WEKO | |||||
| 識別子 | 1667 | |||||
| 姓名 | Shimotori, Yutaka | |||||
| 著者別名 | ||||||
| 識別子Scheme | WEKO | |||||
| 識別子 | 1668 | |||||
| 姓名 | Masugata, Katsumi | |||||
| 著者別名 | ||||||
| 識別子Scheme | WEKO | |||||
| 識別子 | 1669 | |||||
| 姓名 | Yatsui, Kiyoshi | |||||
| 著者所属 | ||||||
| 値 | 長岡技術科学大学粒子ビームセンター | |||||
| 著者所属 | ||||||
| 値 | 日本精機(株) | |||||
| 著者所属 | ||||||
| 値 | 長岡技術科学大学粒子ビームセンター | |||||
| 著者所属 | ||||||
| 値 | 長岡技術科学大学粒子ビームセンター | |||||
| 著者所属 | ||||||
| 値 | 長岡技術科学大学粒子ビームセンター | |||||
| 著者所属 | ||||||
| 値 | Laboratory of Beam Technology and Department of Electrical Engineering, NUT | |||||
| 著者所属 | ||||||
| 値 | Nipponn Seiki Co. Ltd. | |||||
| 著者所属 | ||||||
| 値 | Laboratory of Beam Technology and Department of Electrical Engineering, NUT | |||||
| 著者所属 | ||||||
| 値 | Laboratory of Beam Technology and Department of Electrical Engineering, NUT | |||||
| 著者所属 | ||||||
| 値 | Labo | |||||
| 抄録 | ||||||
| 内容記述タイプ | Abstract | |||||
| 内容記述 | A fast deposition technique has been novely developed for the preparation of ZnS thin films by use of an intense pulsed ion beam. The zinc and sulfur plasma have been produced by the irradiation of the intense pulsed beam (~6.6GW/cm\^2^) onto the surface of the ZnS target, which is deposited onto a substrate kept at temperature. The temperature of the plasma has been evaluated to be ~ 1eV. The deposition rate has been estimated to be ~ 2.3 cm/s, which is several orders of magnitude higher than those with any other methods. We have found that the films prepared have a polycrystalline hexagonal structure. | |||||
| 書誌情報 |
長岡技術科学大学研究報告 巻 10, p. 57-61, 発行日 1988-08 |
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| ISSN | ||||||
| 収録物識別子タイプ | ISSN | |||||
| 収録物識別子 | 0388-5631 | |||||
| 書誌レコードID | ||||||
| 収録物識別子タイプ | NCID | |||||
| 収録物識別子 | AN00177120 | |||||
| 著者版フラグ | ||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||
| 出版者 | ||||||
| 出版者 | 長岡技術科学大学 | |||||
