WEKO3
アイテム
大強度パルスイオンビーム蒸着法によるBaTiO3薄膜の生成
http://hdl.handle.net/10649/459
http://hdl.handle.net/10649/459499843fa-9fd4-4fb0-a7ad-5396abe4db61
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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K15_3.pdf (447.1 kB)
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| アイテムタイプ | 紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 2011-02-15 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | 大強度パルスイオンビーム蒸着法によるBaTiO3薄膜の生成 | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | Ion-beam evaporation | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | BaTiO\_3_ thin film | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | polycrystal | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | \!in situ! preparation | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||
| 資源タイプ | departmental bulletin paper | |||||
| 著者 |
曽根川, 富博
× 曽根川, 富博× 星野, 秀往× 大橋, 幹夫× 前川, 裕章× 升方, 勝己× 八井, 浄× 霜鳥, 裕× 古内, 重正× 山本, 博嗣 |
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| 著者別名 | ||||||
| 識別子Scheme | WEKO | |||||
| 識別子 | 2213 | |||||
| 姓名 | ソネガワ, トミヒロ | |||||
| 著者別名 | ||||||
| 識別子Scheme | WEKO | |||||
| 識別子 | 2214 | |||||
| 姓名 | ホシノ, ヒデオシ | |||||
| 著者別名 | ||||||
| 識別子Scheme | WEKO | |||||
| 識別子 | 2215 | |||||
| 姓名 | オオハシ, ミキオ | |||||
| 著者別名 | ||||||
| 識別子Scheme | WEKO | |||||
| 識別子 | 2216 | |||||
| 姓名 | マエカワ, ヒロアキ | |||||
| 著者別名 | ||||||
| 識別子Scheme | WEKO | |||||
| 識別子 | 2217 | |||||
| 姓名 | マスガタ, カツミ | |||||
| 著者別名 | ||||||
| 識別子Scheme | WEKO | |||||
| 識別子 | 2218 | |||||
| 姓名 | ヤツイ, キヨシ | |||||
| 著者別名 | ||||||
| 識別子Scheme | WEKO | |||||
| 識別子 | 2219 | |||||
| 姓名 | シモトリ, ユタカ | |||||
| 著者別名 | ||||||
| 識別子Scheme | WEKO | |||||
| 識別子 | 2220 | |||||
| 姓名 | フルウチ, シゲマサ | |||||
| 著者別名 | ||||||
| 識別子Scheme | WEKO | |||||
| 識別子 | 2221 | |||||
| 姓名 | Sonegawa, Tomihiro | |||||
| 著者別名 | ||||||
| 識別子Scheme | WEKO | |||||
| 識別子 | 2222 | |||||
| 姓名 | Hoshino, Hideo | |||||
| 著者別名 | ||||||
| 識別子Scheme | WEKO | |||||
| 識別子 | 2223 | |||||
| 姓名 | Oohashi, Mikio | |||||
| 著者別名 | ||||||
| 識別子Scheme | WEKO | |||||
| 識別子 | 2224 | |||||
| 姓名 | Maekawa, Hiroaki | |||||
| 著者別名 | ||||||
| 識別子Scheme | WEKO | |||||
| 識別子 | 2225 | |||||
| 姓名 | Masugata, Katsumi | |||||
| 著者別名 | ||||||
| 識別子Scheme | WEKO | |||||
| 識別子 | 2226 | |||||
| 姓名 | Yatsui, Kiyoshi | |||||
| 著者別名 | ||||||
| 識別子Scheme | WEKO | |||||
| 識別子 | 2227 | |||||
| 姓名 | Shimotori, Yutaka | |||||
| 著者別名 | ||||||
| 識別子Scheme | WEKO | |||||
| 識別子 | 2228 | |||||
| 姓名 | Furuuchi, Shigemasa | |||||
| 著者別名 | ||||||
| 識別子Scheme | WEKO | |||||
| 識別子 | 2229 | |||||
| 姓名 | Yamamoto, Hiroshi | |||||
| 著者所属 | ||||||
| 値 | 長岡技術科学大学電気系 | |||||
| 著者所属 | ||||||
| 値 | 長岡技術科学大学電気系 | |||||
| 著者所属 | ||||||
| 値 | 長岡技術科学大学電気系 | |||||
| 著者所属 | ||||||
| 値 | 長岡技術科学大学電気系 | |||||
| 著者所属 | ||||||
| 値 | 長岡技術科学大学電気系 | |||||
| 著者所属 | ||||||
| 値 | 長岡技術科学大学電気系 | |||||
| 著者所属 | ||||||
| 値 | 日本精機(株) | |||||
| 著者所属 | ||||||
| 値 | 日本精機(株) | |||||
| 著者所属 | ||||||
| 値 | ニチコン(株) | |||||
| 抄録 | ||||||
| 内容記述タイプ | Abstract | |||||
| 内容記述 | Cubic barium titanate (BaTiO\_3_) thin films have successfully been prepared \!in situ! on the substrates of glass and Si (100) by intense, pulsed, ion-beam evaporation technique without heating the substrate. The energy of the ion beam used was typically ~ 1 MeV with the power density of ~ 7 GW/cm\^2^. The deposition rate was observed to be ~ 0.1 \mu\m/shot on Si. The films were cubic polycrystals. The specific dielectric constant was found to be 33 ~ 50 | |||||
| 書誌情報 |
長岡技術科学大学研究報告 巻 15, p. 15-19, 発行日 1993-12 |
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| ISSN | ||||||
| 収録物識別子タイプ | ISSN | |||||
| 収録物識別子 | 0388-5631 | |||||
| 書誌レコードID | ||||||
| 収録物識別子タイプ | NCID | |||||
| 収録物識別子 | AN00177120 | |||||
| 著者版フラグ | ||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||
| その他のタイトル | ||||||
| その他のタイトル | Preparation of BaTiO3 thin films by intense, pulsed, ion-beam evaporation | |||||
| 出版者 | ||||||
| 出版者 | 長岡技術科学大学 | |||||
