WEKO3
アイテム
Attempts toward Machining of the Back Surface of Si Substrate using Infrared Femtosecond Laser
http://hdl.handle.net/10649/00001059
http://hdl.handle.net/10649/0000105961e33abd-0bc9-458f-abb9-2a18cefbf78f
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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論文要旨_abstract (99.3 kB)
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論文審査結果の要旨_review (217.7 kB)
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本文_fulltext (28.5 MB)
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| アイテムタイプ | 学位論文 / Thesis or Dissertation(1) | |||||||
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| 公開日 | 2020-06-30 | |||||||
| タイトル | ||||||||
| タイトル | Attempts toward Machining of the Back Surface of Si Substrate using Infrared Femtosecond Laser | |||||||
| 資源タイプ | ||||||||
| 資源タイプ | doctoral thesis | |||||||
| アクセス権 | ||||||||
| アクセス権 | open access | |||||||
| アクセス権URI | http://purl.org/coar/access_right/c_abf2 | |||||||
| 著者 |
LUONG, PHU KHANH
× LUONG, PHU KHANH
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| 学位名 | ||||||||
| 学位名 | 博士（工学） | |||||||
| 学位審査委員 | ||||||||
| 教授（主査） 山田昇、教授 明田川正人、教授 磯部浩已、准教授 溝尻瑞枝、名誉教授 伊藤義郎 | ||||||||
| 学位授与機関 | ||||||||
| 学位授与機関識別子Scheme | kakenhi | |||||||
| 学位授与機関識別子 | 13102 | |||||||
| 学位授与機関名 | 国立大学法人長岡技術科学大学 | |||||||
| 学位授与年月日 | ||||||||
| 学位授与年月日 | 2020-06-30 | |||||||
| 学位授与番号 | ||||||||
| 学位授与番号 | 甲第940号 | |||||||
